鏡筒內(nèi)電子束減速技術(shù)

搭載鏡筒內(nèi)減速技術(shù)，在極低著陸電壓下仍可以有效控制像差，提供超高分辨成像水平。

”三物鏡“技術(shù)

物鏡系統(tǒng)由兩組電磁透鏡和一組靜電透鏡組成，三組物鏡均可獨(dú)立控制并任意組合以聚焦電子束；三種物鏡的靈活組合可以應(yīng)對(duì)更加多樣的觀測(cè)場(chǎng)景，用戶在不改變工作距離的前提下即可實(shí)現(xiàn)一鍵全自動(dòng)切換超大視野、超大景深、超高分辨等多種成像模式。

MD多功能能量選擇探測(cè)器

可同時(shí)收集SE、中角度BSE信號(hào)，生成同時(shí)展示形貌襯度與成分襯度、突出樣品表面輪廓的圖像；能量濾波網(wǎng)格設(shè)計(jì)，SE信號(hào)、BSE信號(hào)（<4000eV）可被濾掉，增強(qiáng)樣品表面特征的BSE襯度。

成像圖：

超高分辨能力

旗艦級(jí)場(chǎng)發(fā)射電子光學(xué)鏡筒

最高分辨能力可達(dá)1.1nm@1kV，0.6nm@15kV

鏡筒內(nèi)減速

配備鏡筒內(nèi)減速技術(shù)，可以提供低至10V的超低能量超高分辨成像能力，輕松觀察樣品極表面細(xì)節(jié)

絕緣樣品、不耐輻照樣品、磁性樣品均可觀測(cè)

多模式一鍵切換

三物鏡結(jié)構(gòu)提供更加靈活多變的物鏡組合模式，無(wú)需改變工作距離即可一鍵切換超大視野、超大景深、超高分辨、超大束流等多種觀測(cè)模式。